真空箱式氦检漏系统【工作环境】

科创真空——专业真空箱氦检漏供应商，我们为您带来以下信息。

工作环境:

1、长×宽×高（设备占地面积约）：依据实物实际面积为准。

2、电源：380 V±38 V，50 Hz±0.5 Hz，约22KW；

3、压缩气源及减压器：0.6～0.8Mpa氮气或干燥清洁压缩空气；

4、待检工件要求清洁、干燥。

5、环境温度：   5 ℃ ～ 35 ℃；

6、相对湿度：   ≤80%；

7、氦气源及减压器：氦气纯度为  99％。

8、设备应安装在通风良好的厂房内。

真空箱式氦检漏设备【验收标准】

由于真空箱式氦检漏系统是比较专业的设备，所以需要用户进行验收，以免后期使用过程中产生问题，难以解决。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收，之后进行操作、维修等技术培训，验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收，以免延期因保管出现的产品质量问题。需要注意系统调试需要用测试工件。真空箱式氦检漏系统以下是科创真空为您一起分享的内容，锐诚真空公司专业生产销售氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。

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真空箱式氦检漏系统

科创真空专业生产、销售氦检漏设备，我们为您分析该产品的以下信息。

概述

本设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。然后将被检工件内的氦气回收循环使用，后向工件内充入规定压力的SF6和氮气工作气体。B1：若A1检测不通过，则系统报警，大漏工件序号显示-----检测程序中止。

回收装置的基本工作原理是采用冷冻液化法。在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力。同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。这样连续抽吸至SF6压缩机串联运行，直至达到回收终压力。05Mpa（可调）2、工作节拍：＜40分钟/件3、箱内接口数量：大件1个工件接口。

性能特点

1、安全

★ 电气系统具有自我检测、连锁保护和报警功能，确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。

★ 真空箱门设安全光电保护装置，确保操作者安全

★ 氦气示踪安全环保。

★ 储气罐和压缩机出口配置安全阀保证系统安全。

2、高灵敏度

★ 检漏精度高。

★ 抑零功能，消除氦本底影响。

氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。用氦气作为氦质谱检漏气体的原因1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。质谱室接在分子泵的高真空端，入口接在分子泵和机械泵之间，利用分子泵对不同气体具有不同压缩比的特点，氦气逆着分子泵的抽气方向进入质谱室。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。